Многоступенчатые насосы Рутса

Многоступенчатые насосы Рутса

Многоступенчатые вакуумные насосы Рутса серии GRM являются разновидностью сухих вакуумных насосов с изменяемым объемом переноса газа, диапазон рабочих давлений составляет от атмосферного до 1,33×105 Па.

Данный тип насосов широко используется в полупроводниковой промышленности, нанесении покрытий, сушке, плазменных процессах, медицинском оборудовании и в других технологических областях науки и промышленности.

Особенности:
  • Низкая стоимость;
  • Компактность;
  • Низкий уровень шума и вибрации;
  • Высокая надежность;
  • Применяются легкосплавные материал.